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| 基于MOCVD法制备的NiO薄膜结构与光学特性 | |
| 引用本文： | 赵洋,赵龙,王辉,汤正新,王瑾,史志峰. 基于MOCVD法制备的NiO薄膜结构与光学特性[J]. 河南科技大学学报(自然科学版), 2011, 32(3) |
| 作者姓名： | 赵洋 赵龙 王辉 汤正新 王瑾 史志峰 |
| 作者单位： | 1. 吉林大学,电子科学与工程学院,吉林长春130023 2. 吉林大学,电子科学与工程学院,吉林长春130023;河南科技大学物理与工程学院,河南洛阳471003 3. 河南科技大学物理与工程学院,河南洛阳,471003 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(60877020,60976010); 河南科技大学人才科学基金项目(13490034); 河南科技大学青年基金项目(13490045) |
| 摘 要： | 用金属有机化学气相沉积法在Si衬底上制备了NiO薄膜。分别采用X光电子能谱、电子显微镜、X射线衍射以及紫外-可见分光光度计对样品的结构和光学特性进行测试。X光电子能谱测试结果表明:薄膜中Ni元素以二价态存在,Ni与O比值接近1∶1,表明制备的样品为NiO薄膜;电子显微镜和X射线衍射分析显示NiO薄膜呈现多晶态;紫外-可见分光光度计测试结果显示:NiO薄膜具有高透过率,400 nm附近最高透过率为96%,通过线性外推法作图得到NiO薄膜的禁带宽度在3.7 eV左右。 |
| 关 键 词： | NiO薄膜 金属有机化学气相沉积法 透射率 |
Structurel and Optical Properties of NiO Films by MOCVD |
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| ZHAO Yang,ZHAO Long,WANG Hui,TANG Zheng-Xin,WANG Jin,SHI Zhi-Feng. Structurel and Optical Properties of NiO Films by MOCVD[J]. Journal of Henan University of Science & Technology:Natural Science, 2011, 32(3) | |
| Authors: | ZHAO Yang ZHAO Long WANG Hui TANG Zheng-Xin WANG Jin SHI Zhi-Feng |
| Affiliation: | ZHAO Yang1,ZHAO Long1,WANG Hui1,2,TANG Zheng-Xin2,WANG Jin1,SHI Zhi-Feng1 (1.College of Electronic Science & Engineering,Jilin University,Changchun 130012,China,2.Physics & Engineering School,Henan University of Science & Technology,Luoyang 471003,China) |
| Abstract: | |
| Keywords: | NiO thin film Metal organic chemical vapor deposition Transmittance |
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