| ZnO/SiO2/Si复合结构的声表面波器件特性分析 |
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| 引用本文： | 朱敏,谢立强,刘智荣,包文歧,徐才华. ZnO/SiO2/Si复合结构的声表面波器件特性分析[J]. 解放军理工大学学报(自然科学版), 2022, 1(2): 39-44. DOI: 10.12018/j.issn.2097-0730.20201209001 |
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| 作者姓名： | 朱敏 谢立强 刘智荣 包文歧 徐才华 |
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| 作者单位： | 陆军工程大学国防工程学院,江苏南京210007 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（51975584） |
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| 摘 要： | 为研究ZnO/SiO2/Si复合结构声表面波器件激发瑞利波的特性,通过有限元方法对该复合结构进行三维建模仿真,得到该结构SAW器件所激励的瑞利波特性,以及其位移-频率、导纳-频率特性曲线.为验证有限元仿真结果的正确性,制备了有无反射栅结构的两组SAW器件.采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si衬底上制备Si...
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| 关 键 词： | 声表面波器件 有限元仿真 ZnO薄膜 SiO2薄膜 S11参数 |
| 收稿时间： | 2020-12-09 |
Characteristics Analysis of Surface AcousticWave Devices with ZnO/SiO2/Si Composite Structure |
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| ZHU Min,XIE Liqiang,LIU Zhirong,BAO Wenqi,XU Caihua. Characteristics Analysis of Surface AcousticWave Devices with ZnO/SiO2/Si Composite Structure[J]. Journal of PLA University of Science and Technology(Natural Science Edition), 2022, 1(2): 39-44. DOI: 10.12018/j.issn.2097-0730.20201209001 |
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| Authors: | ZHU Min XIE Liqiang LIU Zhirong BAO Wenqi XU Caihua |
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| Affiliation: | College of Defense Engineering, Army Engineering University of PLA, Nanjing 210007, China |
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| Abstract: | |
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