|
|||||
|
|
| Ga As—Al Ga_(1-x) As双异质结平面条型激光器的掩蔽扩散 | |
| 引用本文： | 沈严辉,陈晓红.Ga As—Al Ga_(1-x) As双异质结平面条型激光器的掩蔽扩散[J].吉林大学学报(理学版),1976(1). |
| 作者姓名： | 沈严辉 陈晓红 |
| 作者单位： | 吉林大学半导体系七二级器件专业 工农兵学员 (沈严辉)，吉林大学半导体系七二级器件专业 工农兵学员(陈晓红) |
| 摘 要： | 本文介绍了一种采用三元系源Ga—As—Zn为扩散源的GaAs—AlxGa_(1-x)As双异质结平面条型激光器的掩蔽扩散。其中对三元系源Ga—As—Zn源的选择做着重的讨论,并且对元素Zn源与三元系源做了比较;从中引出了扩散系数D依赖于As_4压力的关系公式和扩散截面的表面浓度的表达式。最后,对工艺结果和存在的问题进行了分析讨论。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |