| 硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析 |
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| 引用本文： | 王兢,吴英奎,万徽.硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析[J].大连理工大学学报,2003,43(4):522-526. |
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| 作者姓名： | 王兢 吴英奎 万徽 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60074031). |
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| 摘 要： | 以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件，用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料，丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件，测试分析了元件的性能参数。结果表明，元件具有较高的灵敏度，元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化，但基本不随测试电压变化，在1V、100Hz条件下，元件阻抗一相对湿度关系曲线的线性最好，由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路，讨论了材料的感湿机理，低湿时，材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水共同起作用；高湿时，主要是吸附的水分子电离和极化起作用。
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| 关 键 词： | 纳米钛酸钡 湿敏元件 硅衬底 阻抗 电容 感湿机理 硬脂酸盐法 丝网印刷法 传感器 |
| 文章编号： | 1000-8608(2003)04-0522-05 |
Property analysis of humidity sensor of nanometer BaTiO3 on Si |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | humidity sensor barium titanate Si substrate property analysis |
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