大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计 |
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引用本文: | 糜小涛.大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计[J].吉林工学院学报,2014(1):42-45. |
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作者姓名: | 糜小涛 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; |
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基金项目: | 国家重大科研装备研制项目(ZBY2008-1) |
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摘 要: | 根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构,设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析,分析结果表明,设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。
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关 键 词: | 衍射光栅刻划机 刀架导轨 静力学分析 |
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