| 快速与精确的AFM探针模型重构研究 |
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| 作者姓名： | 袁帅 董再励 缪磊 席宁 王越超 |
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| 作者单位： | 中国科学院沈阳自动化研究所, 机器人学国家重点实验室, 沈阳110016;
中国科学院研究生院, 北京 100049;
Department of Electrical and Computer Engineering, Michigan State University, USA |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(批准号: 60635040)、国家高技术研究发展计划(编号: 2009AA04Z313, 2009AA03Z316)和中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目 |
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| 摘 要： | 在AFM扫描成像中, 由于探针具有展宽效应等因素, 导致扫描图像失真. 从数学形态学角度看, 可以认为真实图像失真是受到了探针针尖形貌卷积的作用, 因而不能反映样品表面的真实形貌. 采用反卷积运算处理可以排除这类扫描成像干扰, 但需要准确知道探针针尖形貌, 这对于AFM纳米扫描图像的精确重构具有实际意义. 在已有的探针建模算法中, 基于数学形态学的盲建模算法得到了广泛使用, 然而该算法存在运算时间较长, 最优降噪门限阈值很难确定等问题. 针对这些问题, 提出一种新的盲建模方法, 可以提高盲建模运算速度, 并且实现AFM扫描图像的精确重构. 仿真和实验结果证明了上述研究方法的可行性和有效性.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 探针盲建模算法 多孔铝 数学形态学 |
| 收稿时间： | 2009-06-22 |
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