| 基于改进的非线性小数重合法的轮廓测量 |
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| 引用本文： | 郝煜栋,赵洋,李达成. 基于改进的非线性小数重合法的轮廓测量[J]. 清华大学学报(自然科学版), 2000, 40(4): 32-34 |
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| 作者姓名： | 郝煜栋 赵洋 李达成 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为实现复杂物体形状的可靠测量 ,提出基于相位 -高度关系的非线性小数重合法原理。用独立于任何实际应用的一般形式给出了该算法的数学表述 ,并以此为基础设计了一套双频光栅投影轮廓测量系统。对标定结果的分析表明该系统在 75 .6 0 m m的高度测量范围内测量不确定度小于70μm。与基于相位 -坐标关系的非线性小数重合法相比 ,该算法的数学表述更加明晰 ,应用也更加方便。该技术可用来实现实用、可靠、高精度的自动三维轮廓测量
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| 关 键 词： | 轮廓测量 相位展开 小数重合法 标定 |
Profilometry based on the improved nonlinear excess fraction method |
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| HAO Yudong,ZHAO Yang,LI Dacheng. Profilometry based on the improved nonlinear excess fraction method[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 2000, 40(4): 32-34 |
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| Authors: | HAO Yudong ZHAO Yang LI Dacheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | profilometry phase unwrapping excess fraction method calibration |
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