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快速晶闸管n基区金浓度DLTS分析
引用本文:田敬民,肖浦英. 快速晶闸管n基区金浓度DLTS分析[J]. 西安理工大学学报, 1986, 0(4)
作者姓名:田敬民  肖浦英
作者单位:陕西机械学院自动控制系,陕西机械学院自动控制系
摘    要:本文通过对晶闸管关断物理过程的分析得到:n基区深中心的最佳剖面分布应是N_t(j_2)>N_t(j_1)。经过实验,根据DLTS和电特性参数的测量、分析的结果可知,硼、磷扩散浓度和金掺杂总量都会改变n基区的金分布,且不同的金分布相应于不同V_T~t_q。折衷曲线。所以,快速晶闸管n基区金浓度的最佳分布,应当有相应的最佳V_T~t_q折衷曲线,它依赖于硼、磷、金扩散的最佳配合。

关 键 词:快速晶闸管  深能级复合中心  金浓度最佳分布

THE GOLD CONCENTRATION DLTS ANALYSIS OF n BASE FOR FAST SWITCHING THYRISTOR
Tian Jingmin Xiao Puying. THE GOLD CONCENTRATION DLTS ANALYSIS OF n BASE FOR FAST SWITCHING THYRISTOR[J]. Journal of Xi'an University of Technology, 1986, 0(4)
Authors:Tian Jingmin Xiao Puying
Affiliation:Tian Jingmin Xiao Puying
Abstract:
Keywords:Optimizing Profile  Deep Level Recombination Center  Compromise Curse  DLTS-deep Level Transient Spectrometer.
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