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硒化法制备铜铟铝硒薄膜及其性能研究
引用本文:向华 庄大明 张弓 李春雷. 硒化法制备铜铟铝硒薄膜及其性能研究[J]. 中山大学学报(自然科学版), 2007, 46(B06): 179-180
作者姓名:向华 庄大明 张弓 李春雷
作者单位:清华大学机械工程系,北京100084
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2004AA513023)
摘    要:采用中频交流磁控溅射方法制备了CIA前驱膜,并采用固态硒化法进行处理,获得了CIAS吸收层薄膜。采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌。结果表明,通过调节CIA前驱膜的A1含量可制备得到Cu/(In+A1)原子比接近1,且AL/(In+A1)比例可调的CIAS薄膜。CIAS薄膜由cu(In1-xAlx)Se2固溶体相组成,A1主要是以替代In的固溶形式存在。

关 键 词:太阳能电池 CIAS 磁控溅射 前驱膜 硒化
文章编号:0529-6579(2007)S1-0179-02
修稿时间:2007-01-10

Investigation of CUIn1-x Alx Se2 Thin Film for Solar Cells Prepared by a Selenization Process
XIANG Hua, ZHUANG Da-ming, ZHANG Gong, LI Chun-lei. Investigation of CUIn1-x Alx Se2 Thin Film for Solar Cells Prepared by a Selenization Process[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2007, 46(B06): 179-180
Authors:XIANG Hua   ZHUANG Da-ming   ZHANG Gong   LI Chun-lei
Affiliation:Department of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China
Abstract:
Keywords:solar cell    CIAS    magnetron sputtering    precursor film    selenization
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