| 射频溅射金属前驱体硫化法制备的Cu2ZnSnS4薄膜 |
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| 引用本文： | 张军,付玉军,邵栋,邵乐喜.射频溅射金属前驱体硫化法制备的Cu2ZnSnS4薄膜[J].中山大学学报(自然科学版),2007,46(B06):32-34. |
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| 作者姓名： | 张军 付玉军 邵栋 邵乐喜 |
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| 作者单位： | [1]湛江师范学院物理科学与技术学院,广东湛江524048 [2]兰州大学物理科学与技术学院,甘肃兰州730000 [3]浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,浙江杭州310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（10574106）. |
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| 摘 要： | 采用射频溅射技术沉积Cu／Sn／Zn金属前驱体叠层结合硫化技术在玻璃衬底上成功制备了Cu2ZnSnS4薄膜。X-射线衍射分析表明，通过优化制备条件可以获得单一黝锡矿结构且具有（221）择优取向的Cu2ZnSnS4薄膜。霍尔效应和紫外可见透过谱测量表明，样品的薄膜电阻、吸收系数和光学带隙分别达到0．073Ω·cm，10^4cm^-1和1．53eV，具有适合作为薄膜太阳电池吸收层应用的可能性。
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| 关 键 词： | Cu2ZnSnS4薄膜 太阳电池 射频磁控溅射 |
| 文章编号： | 0529-6579（2007）S1-0032-03 |
| 修稿时间： | 2007-01-10 |
The Stannite CuzZnSnS4 Thin Films Prepared by Sulfurization of rf Magnetron Sputtered Metal Precursors |
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| ZHANG Jun, FU Yujun, SHAO Dong, SHAO Lex.The Stannite CuzZnSnS4 Thin Films Prepared by Sulfurization of rf Magnetron Sputtered Metal Precursors[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2007,46(B06):32-34. |
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| Authors: | ZHANG Jun FU Yujun SHAO Dong SHAO Lex |
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| Institution: | School of Physical Science and Technology, Zhanjiang Normal University, Zhanjiang 524048, China; School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, Lanzhou730000, China; College of Biomedical Engineering and Instrument Science, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cu2ZnSnS4 thin film solar-cell rf magnetron sputtering |
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