| 掺铝氧化锌薄膜的光电性能 |
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| 引用本文： | 杨兵初,李雪勇,聂国政.掺铝氧化锌薄膜的光电性能[J].中南大学学报(自然科学版),2006,37(6):1132-1136. |
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| 作者姓名： | 杨兵初 李雪勇 聂国政 |
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| 作者单位： | 中南大学,物理科学与技术学院,湖南,长沙,410083 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备掺铝氧化锌薄膜,研究不同工艺参数对薄膜组织结构、光学性质和电学性质的影响。从薄膜的结构、载流子浓度和迁移率等方面分析掺铝氧化锌薄膜的透射率和电阻率的变化机理。研究结果表明:掺铝氧化锌薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长,衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率和透射率具有很大影响。在衬底温度为200℃、氧气与氩气的分压比为1%时,薄膜具有最优电阻率和平均透射率,分别达到1.13×10-3Ω.cm和86.5%。
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| 关 键 词： | 掺铝氧化锌薄膜 透射率 电阻率 |
| 文章编号： | 1672-7207(2006)06-1132-05 |
| 收稿时间： | 2006-03-10 |
| 修稿时间： | 2006年3月10日 |
Optical and electrical properties of Al-doped ZnO thin films |
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| YANG Bing-chu,LI Xue-yong,NIE Guo-zheng.Optical and electrical properties of Al-doped ZnO thin films[J].Journal of Central South University:Science and Technology,2006,37(6):1132-1136. |
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| Authors: | YANG Bing-chu LI Xue-yong NIE Guo-zheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al-doped ZnO optical transmittance electrical resistivity |
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