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| 用调制光反射方法测量薄膜的厚度 | |
| 引用本文： | 郭元元,徐明华,张淑仪.用调制光反射方法测量薄膜的厚度[J].南京大学学报(自然科学版),1998,34(1):79-84. |
| 作者姓名： | 郭元元 徐明华 张淑仪 |
| 作者单位： | 南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 利用调制光反射技术对一系列不同厚度的二氧化硅薄膜进行了测量，在不同调制频率下检测样品的调制光反射相位信号。同时针对实验条件建立了三维理论模型，通过对实验曲线的最小方差拟合，推算出二氧化硅薄膜的厚度。 |
| 关 键 词： | 调制光反射 薄膜 厚度 测量 |
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