多晶硅铸锭炉加热器的优化及其热场模拟

以美国GT Solar公司DSS~(TM) 450型多晶硅铸锭炉为模型,提出了一种新的加热器优化设计方案。通过建立热力学三维模型,利用数值模拟的方法,对加热器优化前后铸锭炉内部的热场分布进行仿真,发现优化加热器对边缘区域的中间部分的温度有较好的补偿作用,在一定程度上改善了热场分布的均匀性;与未优化情况相比,热场分布的等温线更加平直,曲率更小;在同样的加热功率条件下,晶体硅可以被加热到更高的温度,优化后的加热器具有更高的加热效率。