| 脉冲激光沉积(PLD)技术及其应用研究 |
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| 引用本文： | 高国棉,陈长乐,王永仓,陈钊,李谭. 脉冲激光沉积(PLD)技术及其应用研究[J]. 空军工程大学学报(自然科学版), 2005, 6(3): 77-81 |
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| 作者姓名： | 高国棉 陈长乐 王永仓 陈钊 李谭 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,理学院,陕西,西安,710072;空军工程大学,理学院,陕西,西安,710051;西北工业大学,理学院,陕西,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50331040,60171043)，陕西省自然科学基金资助项目(2001C21)，西北工业大学博士论文创新基金资助项目(200242) |
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| 摘 要： | 综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的原理、特点，着重分析了脉冲激光沉积技术的研究现状和在功能薄膜制备中的应用前景。大量研究表明，脉冲激光沉积技术是目前最好的制备薄膜方法之一。
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| 关 键 词： | PLD 薄膜制备 应用 |
| 文章编号： | 1009-3516(2005)03-0077-05 |
| 修稿时间： | 2004-09-17 |
Review of Pulsed Laser Deposition Technology |
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| GAO Guo-mian,CHEN Chang-le,WANG Yong-cang,CHEN Zhao,LI Tan. Review of Pulsed Laser Deposition Technology[J]. Journal of Air Force Engineering University(Natural Science Edition), 2005, 6(3): 77-81 |
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| Authors: | GAO Guo-mian CHEN Chang-le WANG Yong-cang CHEN Zhao LI Tan |
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| Affiliation: | GAO Guo-mian 1,2,CHEN Chang-le 1,WANG Yong-cang 1,2,CHEN Zhao 1,LI Tan 1 |
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| Abstract: | In this paper, the principle and the characteristics of pulsed laser deposition (PLD) technology is briefly introduced, the current research status of PLD and future application trend in the functional film are discussed in detail. The researches show that PLD is a new promising technique for growing thin films. |
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| Keywords: | PLD film preparation application |
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