| 准分子激光诱导结晶硅膜的Raman光谱分析 |
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| 引用本文： | 戴永兵,沈荷生,张志明,张少强,徐重阳,李兴教.准分子激光诱导结晶硅膜的Raman光谱分析[J].上海交通大学学报,2001,35(6):947-950. |
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| 作者姓名： | 戴永兵 沈荷生 张志明 张少强 徐重阳 李兴教 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学微电子技术研究所,
2. 华中科技大学电子科学与技术系, |
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| 摘 要： | 采用XeCl准分子激光器对PECVD法生长的非晶硅膜进行了诱导晶化处理，对结晶膜的晶体质量进行了Raman光谱表征，研究表明，对于非扫描模式，晶化前去氢处理可使结晶膜具有更高的结晶度，即氢的存在阻碍非晶硅的晶化，玻璃衬底与非晶硅膜之间的非晶氮化硅膜对非晶硅膜的晶化没有明显影响，在150～450mJ/cm^2，结晶膜的结晶度随能量密度的增大而提高，结晶膜中存在由非晶硅熔化与重结晶引入的张应力。
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| 关 键 词： | 准分子激光 非晶硅膜 Raman光谱 诱导晶化处理 结晶膜 结晶度 |
| 文章编号： | 1006-2467(2001)06-0947-04 |
| 修稿时间： | 1999年12月22 |
Raman Spectroscopy Analysis of Excimer Laser Crystallized Amorphous Silicon Films |
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| DAI Yong bing ,SHEN He sheng ,ZHANG Zhi ming ,ZHANG Shao qiang ,XU Zhong yang ,LI Xing jiao.Raman Spectroscopy Analysis of Excimer Laser Crystallized Amorphous Silicon Films[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2001,35(6):947-950. |
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| Authors: | DAI Yong bing SHEN He sheng ZHANG Zhi ming ZHANG Shao qiang XU Zhong yang LI Xing jiao |
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| Institution: | DAI Yong bing 1,SHEN He sheng 1,ZHANG Zhi ming 1,ZHANG Shao qiang 2,XU Zhong yang 2,LI Xing jiao 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | excimer laser amorphous silicon film crystallization Raman spectroscopy |
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