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微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构 …
作者姓名:马旭村 徐贵昌
摘    要:利用微波等离子体增强化学气相沉积方法,在多孔二氧化碳基底上制备了大面积取向一致的碳氮纳米管薄膜。采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能量散射X射线能谱仪分别进行了纳米管的形貌、结构和成分的研究。结果表明这种纳米管的直径一般为100nm,长度可达20μm,为纳米钟的线性聚合物。

关 键 词:碳氮纳米管 微波等离子体 结构 MWPCVD
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