电子束曝光用精密X-Y工件台系统

为电子束曝光用的激光定位精密 X-Y 工件台系统已在中国科学院光电技术研究所研制出来。它包括:X-Y 真空工件台,激光干涉仪及其电气系统,真空箱体,X 及 Y 向驱动电机及驱动电气系统,带打印机的微型计算机操纵系统,真空泵,隔振台。工件台采用 V形导轨结构,行程100×100毫米。为了防止磁性对电子束偏转的干扰,工件台零件采用了抗磁性材料,V 形导轨则经过仔细地退磁。两个1/10波长平面度的 V 形反射镜成直角地装在工件台上,正交度在1角秒之内。激光干涉仪除激光器与光电接收器外,其光学零件均安装在真空箱体内,如此可免除大气条件对光波波长的影响。该干涉仪采用了一种特殊的光路设计,可获得稳定的干涉图样,并使其分辨率达到0.04微米。X-Y 驱动电机在真空箱体之外,通过密封接头带动箱体内的工件台运动,其动作由微型计算机操纵。电气控制柜在真空箱体之外。其上除装有驱动电机的电气系统外,还装有激光干涉仪的电气系统。两个十进位显示器随时指示 X-Y 工件台的实际位置。真空泵采用油扩散泵,它装在箱体的下方,隔振台的中间。隔振台是弹簧悬挂式的,自振频率为2赫芝。该 X-Y 工件台系统的空位重复性为2σ=±0.04微米,准确度为0.1微米。