移相器微波传输薄膜的研制 |
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引用本文: | 陈荣发,赵毅红,柏乃勇. 移相器微波传输薄膜的研制[J]. 扬州大学学报(自然科学版), 2002, 5(4): 46-49 |
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作者姓名: | 陈荣发 赵毅红 柏乃勇 |
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作者单位: | 扬州大学工学院机械工程系,江苏扬州,225009 |
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摘 要: | 对移相器微波传输薄膜的理论设计进行了详细的分析,优化了膜系的制备工艺参数,并对薄膜样品进行了性能测试和对比分析,结果表明,Cu-Ti微波传输薄膜的性能优良。
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关 键 词: | 移相器 微波传输薄膜 Cu-Ti薄膜 制备工艺 显微结构 磁控溅射 |
文章编号: | 1007-824X(2002)04-0046-04 |
STUDY ON MICROWAVE-CONDUCT FILMS OF PHASE SHIFTERS |
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