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| 移相器微波传输薄膜的研制 | |
| 引用本文： | 陈荣发,赵毅红,柏乃勇.移相器微波传输薄膜的研制[J].扬州大学学报(自然科学版),2002,5(4):46-49. |
| 作者姓名： | 陈荣发 赵毅红 柏乃勇 |
| 作者单位： | 扬州大学工学院机械工程系,江苏扬州,225009 |
| 摘 要： | 对移相器微波传输薄膜的理论设计进行了详细的分析，优化了膜系的制备工艺参数，并对薄膜样品进行了性能测试和对比分析，结果表明，Cu-Ti微波传输薄膜的性能优良。 |
| 关 键 词： | 移相器 微波传输薄膜 Cu－Ti薄膜 制备工艺 显微结构 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1007-824X(2002)04-0046-04 |
STUDY ON MICROWAVE-CONDUCT FILMS OF PHASE SHIFTERS |
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