| 厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响 |
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| 引用本文： | 车晓舟,陈莲华,马洪涛,方宏新.厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响[J].科学通报,2010,55(3):302-305. |
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| 作者姓名： | 车晓舟 陈莲华 马洪涛 方宏新 |
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| 作者单位： | ① 华南理工大学材料科学与工程学院, 广州 510640;
② 东莞新科磁电制品厂, 东莞 523087 |
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| 摘 要： | 采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜, 用波长为514.5 nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构. 实验结果表明, 厚度影响DLC薄膜的结构. 当DLC薄膜厚度从2 nm增大到30 nm时, Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移, 通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小, 消光系数(Ks)逐渐减小, 薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大. 当薄膜厚度从30 nm增大到50 nm时, ID/IG增大, Ks逐渐增大, 薄膜中的sp3键含量减小.
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| 关 键 词： | 超薄类金刚石薄膜 厚度 结构 |
| 收稿时间： | 2009-05-05 |
| 修稿时间： | 2009-09-02 |
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