| 磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析 |
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| 引用本文： | 严少平,蒋百灵,苏阳,张永宏.磁控溅射类石墨镀层结构的Raman光谱和XPS分析[J].西安理工大学学报,2008,24(1):8-12. |
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| 作者姓名： | 严少平 蒋百灵 苏阳 张永宏 |
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| 作者单位： | 1. 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;安徽理工大学,应用物理系,安徽,淮南,232001
2. 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 利用非平衡磁控溅射离子镀技术在单晶硅片上沉积了类石墨碳镀层,采用X射线衍射(XRD)、激光Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)等分析方法对镀层的微观结构进行了研究.结果表明:不同成份类石墨碳镀层的Raman光谱与宽化的多晶石墨Raman光谱相似,类石墨碳镀层是以sp2键结构为主,且含有多种纳米团簇颗粒的非晶镀层,sp3键含量在12～15%范围;根据高斯解谱计算,镀层中碳团簇线度为1.2 nm以下,并随铬含量增高而减小;镀层主要由单质碳、铬及其铬氧化物组成,并随铬含量增高,逐步有碳铬化合物形成.
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| 关 键 词： | 非平衡磁控溅射 类石墨碳镀层 微结构 Raman光谱 X射线光电子能谱 磁控溅射 类石墨 镀层结构 Raman 光谱 分析 Magnetron Sputtering Coatings Carbon Structure XPS Analysis 铬化合物 组成 铬氧化物 铬含量 线度 碳团簇 计算 解谱 高斯 |
| 文章编号： | 1006-4710(2008)01-0008-05 |
| 修稿时间： | 2007年11月20 |
Raman Spectra and XPS Analysis of the Structure of Graphite-Like Carbon Coatings Deposited by Magnetron Sputtering |
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| YAN Shao-ping,JIANG Bai-ling,SU Yang,ZHANG Yong-hong.Raman Spectra and XPS Analysis of the Structure of Graphite-Like Carbon Coatings Deposited by Magnetron Sputtering[J].Journal of Xi'an University of Technology,2008,24(1):8-12. |
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| Authors: | YAN Shao-ping JIANG Bai-ling SU Yang ZHANG Yong-hong |
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