| 应用Auger电子能谱仪研究清除GaAs表面碳沾污的有效方法 |
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| 引用本文： | 黄振武,高怀蓉.应用Auger电子能谱仪研究清除GaAs表面碳沾污的有效方法[J].福州大学学报(自然科学版),1986(2):52-57. |
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| 作者姓名： | 黄振武 高怀蓉 |
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| 作者单位： | 福州大学物理系
(黄振武)，福州大学物理系(高怀蓉) |
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| 摘 要： | 在制作ＧａＡｓ负亲和势光电阴极中。ＧａＡｓ表面碳的沾污往往严重地降低其光电产额。为了去 除ＧａＡｓ表面碳的污染，我们用Ａｕｇｅｒ电子能谱仪对采用不同化学腐蚀处理的ＧａＡｓ表面进行分析 研究，证明在ＧａＡｓ表面有意形成一氧化膜并装进超高真空系统中加热到－５８０℃，对去除ＧａＡｓ 表面碳污染非常有效。
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| 关 键 词： | 碳污染 GaAs 俄歇电子能谱 |
A STUDY ON THE EFFECTIVE METHOD OF REMOVING CARBON CONTAMINATION ON GaAs SURFACES BY MEANS OF AUGER SPECTROSCOPY |
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| Huang Zhenwu and Gao Huairong.A STUDY ON THE EFFECTIVE METHOD OF REMOVING CARBON CONTAMINATION ON GaAs SURFACES BY MEANS OF AUGER SPECTROSCOPY[J].Journal of Fuzhou University(Natural Science Edition),1986(2):52-57. |
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| Authors: | Huang Zhenwu and Gao Huairong |
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| Institution: | Department of Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Carbon Contamination GaAs Auger Spectroscopy |
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