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| 准分子激光淀积装置真空系统的设计 | |
| 引用本文： | 穆仲良,何永国.准分子激光淀积装置真空系统的设计[J].南京大学学报(自然科学版),1994,30(4):607-613. |
| 作者姓名： | 穆仲良 何永国 |
| 作者单位： | 南京大学仪器厂 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,南京大学固体微结构物理实验室资助 |
| 摘 要： | 设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气的情况下将样品转移至主室。文中描述了关键部件的功能与结构。 |
| 关 键 词： | 真空系统，超导膜，准分子激光烧蚀法 |
DESIGN OF THE VACUUM SYSTEM FOR EXCISER LASER ABLATION DEPOSITION |
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| Mu Zhongliang, He Yongguo,Liao Xinsljeng,Zhang Suming.DESIGN OF THE VACUUM SYSTEM FOR EXCISER LASER ABLATION DEPOSITION[J].Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed,1994,30(4):607-613. | |
| Authors: | Mu Zhongliang He Yongguo Liao Xinsljeng Zhang Suming |
| Abstract: | |
| Keywords: | Vacuum system superconducting thin film Excimer laser ablation technique |
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