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氢化钠米硅薄膜的光声光谱研究
作者姓名:郑以兵 朱晓天
摘    要:分析了纳米硅薄膜材料从可见光到近红外范围的光声光谱,并与微晶硅和非晶硅材料进行了对比。纳米硅的光吸收系数比后两都高(特别是在1.4~1.9eV之间,高出近一个数量级),其原因是纳米硅薄膜中大量晶粒对光子的散射、晶粒界面缺陷的吸收及载流子吸收的影响,此外,纳米硅光声谱中Urbach边宽且缓,反映出这种材料很高的无序程度。

关 键 词:光声光谱 薄膜 纳米 硅 氢化纳米硅
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