非晶氮化硅分束—聚焦集成二元位相型光学元件

报道了自行设计的将二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅和Ｆｒｅｓｎｅｌ波带板集成为一体的同时具有分束和聚焦功能的二元位相型分光束器，并用等离子体增强化学汽相淀积法制备的非晶氮化硅薄膜制作了这样的元件，成功地实现了设计的功能，分束阵列为３ｘ３，焦距１８ｃｍ，分束后的光强分布相对误差小于５％。