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| Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12薄膜的铁电性能研究 | |
| 引用本文： | 胡增顺.Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12薄膜的铁电性能研究[J].开封大学学报,2014(4):89-92. |
| 作者姓名： | 胡增顺 |
| 作者单位： | 开封大学公共计算机教研部,河南开封475004 |
| 基金项目： | 2011年河南省教育厅自然科学研究计划项目（2011C430002） |
| 摘 要： | 在退火温度为600℃、650℃、700℃和750℃的条件下,采用化学溶液沉积法（CSD）,在Pt/Ti/Si O2/Si（100）基底上制备了4批Bi3.15Nd0.85Ti2.97Mg0.03O12（BNTM）铁电薄膜.同时,研究了退火温度对薄膜结晶性能、表面形貌以及铁电性能（剩余极化和漏电流）的影响.结果表明,经650℃退火处理的BNTM铁电薄膜具有较好的铁电性能,其剩余极化强度（2Pr）和矫顽场（2Ec）分别为37.8μC/cm^2和182.2kV/cm,漏电流密度达到1.61E-7 A/cm^2. |
| 关 键 词： | BNTM 铁电薄膜 铁电性能 化学溶液沉积 |
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