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| 新型p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器 | |
| 作者姓名： | 王秀华 李海霞 李占奎 李春艳 陈翠红 鲁辰桂 李荣华 祖凯玲 王柱生 刘凤琼 |
| 作者单位： | 中国科学院近代物理研究所,兰州730000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 设计了一种新型的p+深层扩散结构p-in-n硅微条核辐射探测器,介绍了该探测器的结构、工艺及性能测试结果.探测器为灵敏面积10 mm×10 mm的单面60条探测器,p+注入条宽64 μm,栅宽96 μm,p+注入条中心下方的p+深层扩散区宽10 μm.测试内容包括该探测器的电学特性(反向漏电流、耗尽电压、条间电容、条间... |
| 关 键 词： | 硅微条探测器 p+深层扩散结构 能量分辨 条间串扰 |
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