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Si夹层对GaAs/AlAs异质结的影响
引用本文:李永平,刘杰,姜永超,田强.Si夹层对GaAs/AlAs异质结的影响[J].山东大学学报(理学版),2008,43(1):40-42.
作者姓名:李永平  刘杰  姜永超  田强
作者单位:1. 青岛农业大学理学院,山东,青岛,266109
2. 北京师范大学物理系,北京,100875
基金项目:教育部高校骨干教师资助计划
摘    要:用MBE生长了GaAs/Si/AlAs异质结及其对比样,通过深能级瞬态谱技术(DLTS)和X射线光电子谱测量(XPS)研究了Si夹层的引入对异质结的影响,研究发现Si夹层的引入不会引起明显的深能级缺陷,异质结仍保持较好的质量,但使GaAs/AlAs的带阶发生了改变。

关 键 词:GaAs/AlAs异质结  Si夹层  X射线光电子谱测量  深能级瞬态谱测量
文章编号:1671-9352(2008)01-0040-03
收稿时间:2007-12-03
修稿时间:2007年12月3日

Effect of Si interlayer on GaAs/AlAs hetero-junction
LI Yong-ping,LIU Jie,JIANG Yong-chao,TIAN Qiang.Effect of Si interlayer on GaAs/AlAs hetero-junction[J].Journal of Shandong University,2008,43(1):40-42.
Authors:LI Yong-ping  LIU Jie  JIANG Yong-chao  TIAN Qiang
Institution:1. School of Science, Qingdao Agricultural University, Qingdao 266109, Shandong, China; 2. Department of Physics, Beijing Normal University, Beijing 100875, China
Abstract:GaAs/AlAs heterojunctions prepared by MBE were examined. The influence of 0.5 ML and 1ML Si interlayer on GaAs/AlAs were investigated by DLTS technique and XPS measurement. The results reveal that the Si interlayer has little influence on the crystal, and the valence-band offset of GaAs/AlAs is increased because of the presence of the Si interlayer.
Keywords:GaAs/AlAs hetero-junction  Si interlayer  X-ray photoelectron spectroscopy  Deep level transient spectroscopy
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