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| 电源接入方式对双频容性耦合等离子体性质的影响 | |
| 引用本文： | 李欣昱,吴集盾,黄晓江.电源接入方式对双频容性耦合等离子体性质的影响[J].东华大学学报(自然科学版),2021(2):119-124. |
| 作者姓名： | 李欣昱 吴集盾 黄晓江 |
| 摘 要： | 采用发射光谱结合碰撞辐射模型的方法,研究27.12和2.00 MHz双频电源放电时单极双频(两个射频电源接在一个电极上)和双极双频(两个射频电源接在两个电极上)对双频容性耦合氩等离子体的电子温度和电子密度轴向分布的影响.结果发现:双极双频时的电子密度比单极双频时的高,且其中间等离子体主体区域的电子密度更加平稳和对称,而... |
| 关 键 词： | 双频容性耦合等离子体 电源接入方式 单极双频 双极双频 电子密度 电子温度 |
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