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金属孔阵列电极板间大气压等离子体的微波传输特性
引用本文:褚佳琪,徐金洲,朱芸桢.金属孔阵列电极板间大气压等离子体的微波传输特性[J].东华大学学报(自然科学版),2021(2):113-118,124.
作者姓名:褚佳琪  徐金洲  朱芸桢
摘    要:为探究微波反射法用于诊断射频大气压辉光放电等离子体核心区的可行性,使用COMSOL软件仿真模拟微波通过金属孔阵列结构及存在等离子体的金属孔阵列电极结构的传输特性,分别研究结构参数和等离子体密度对微波传输的影响.结果表明:在57~61 GHz反射频谱中存在两种具有相反特性的表面等离激元共振模式;改变电极的结构尺寸会导致共...

关 键 词:微波传输  大气压等离子体  金属孔阵列  表面等离激元共振  诊断
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