| 掺杂对纳米ZnO薄膜结构的影响 |
| |
| 引用本文： | 宋淑芳,李健,季秉厚.掺杂对纳米ZnO薄膜结构的影响[J].内蒙古大学学报(自然科学版),2001,32(6):704-706. |
| |
| 作者姓名： | 宋淑芳 李健 季秉厚 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院半导体研究所;内蒙古大学新能源研究中心
2. 内蒙古大学新能源研究中心 |
| |
| 基金项目： | “九五”国家重点攻关科技项目 (96— A1 7) |
| |
| 摘 要： | 采用真空蒸发法和热氧化制备纳米ZnO薄膜，分析掺杂对薄膜结构的影响。实验发现，掺入一定比例的In，可以得到沿c轴择优取向的纳米ZnO薄膜，薄膜结晶度有所下降，影响薄膜沿c轴的择优取向。掺Sb可以得到沿c轴择优取向的纳米ZnO薄膜掺。Bi可以改善结晶度，获得强烈沿c轴的择优取向的薄膜。实验发现随In含量的增加，薄膜晶粒尺寸逐渐减小，随Sb含量的增加，晶粒尺寸逐渐增加，而Bi含量的变化对晶粒尺寸基本没有影响。
|
| 关 键 词： | 纳米ZnO薄膜 掺杂 氧化锌 薄膜结构 结晶度 禁带宽度 |
| 文章编号： | 1000-1638(2001)06-0704-03 |
| 修稿时间： | 2000年11月20 |
Doping Influences on Nano-ZnO Thin Films Structures |
| |
| SONG Shu fang ,Li Jian ,JI Bing hou.Doping Influences on Nano-ZnO Thin Films Structures[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,2001,32(6):704-706. |
| |
| Authors: | SONG Shu fang Li Jian JI Bing hou |
| |
| Institution: | SONG Shu fang 1,2,Li Jian 1,JI Bing hou 1 |
| |
| Abstract: | The doped Nano ZnO thin films have been obtained on glass substrates by using vacuum vapor deposition and heat treatment in O 2. By measure and analysis with the aids of XRD , with In doped content increase the crystallinity, the sizes of crystalline grains and c axial orientation decrease.Bi doped can increase the crystallinity and c axial orientation of the thin films,but the sizes of crystalline grains do not change.When Sb doped increase,the crystallinity of the thin films decrease and the sizes of crystalline grains increase. |
| |
| Keywords: | Nano ZnO thin films doping structure |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
