| 纳米晶Fe-Ti-N软磁薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 孟卫民.纳米晶Fe-Ti-N软磁薄膜的研究[J].甘肃联合大学学报(自然科学版),2002,16(1):36-39. |
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| 作者姓名： | 孟卫民 |
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| 作者单位： | 兰州大学 物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe Ti N合金薄膜 .研究发现 ,沉积态低Ti含量的薄膜是α Fe的多晶体 ,晶粒尺寸约 2 0nm ,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构 ,经适当热处理后 ,纳米晶α Fe从中晶化生成 ,晶粒尺寸约 10nm .和低Ti含量Fe Ti N薄膜相比 ,高Ti含量Fe Ti N薄膜显现出良好的软磁特性
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| 关 键 词： | 软磁薄膜 纳米晶 反应溅射 交换耦合 |
| 文章编号： | 1007-9912(2002)01-0036-04 |
| 修稿时间： | 2001年4月23日 |
Study on Nanocrystalline Soft Magnetic Films of Fe-Ti-N |
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| MENG Wei-min.Study on Nanocrystalline Soft Magnetic Films of Fe-Ti-N[J].Journal of Gansu Lianhe University :Natural Sciences,2002,16(1):36-39. |
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| Authors: | MENG Wei-min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | soft magnetic film nanocrystalline reactive sputtering exchange coupling |
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