电子束与电阻复合法制备Cu-Ti金属玻璃薄膜及性能测试

文章采用电子束与电阻复合热蒸发的方法,在衬底盘无冷却水条件下成功制备了Cu-Ti二元金属玻璃薄膜。通过X射线衍射仪(X-ray diffraction, XRD)、差示扫描量热仪(differential scanning calorimetry, DSC)和场发射透射电子显微镜(field emission transmission electron microscope, FE-TEM)表征了该二元合金薄膜的非晶态结构。此外,利用升温XRD方法研究了升温速率对玻璃转变温度和晶化温度的影响作用。另外,在紫外光和可见光辐照下,偏压分别为+0.2 V和-0.2 V时均有光电流响应,结果表明,该方法制备的Cu-Ti金属玻璃薄膜在紫外光和可见光区域具有光电响应特性,且表现出典型的N型光电流特性。