摘 要: | 在质子X荧光(PIXE)分析的基础上发展起来的扫描质子微探针(又称质子显微镜),是离子束分析技术中的一个重要分支.自从1970年J.A.Cookson等人在质子显微镜方面的开创性工作以来,许多国家的有关实验室纷纷竞相研制,特别是1978年以后,发展迅速,迄今为止,全世界已有25台质子显微镜(束点直径≤20μm). 采用磁、电聚焦系统或者针孔限流器,把加速器产生的质子束收缩成为很细的质子微束,对样品进行扫描分析,就可以获得样品表面元素的分布图象.同一般的PIXE分析相比较,质子显微镜不仅能给出样品中元素的种类和含量信息,而且能给出元素在样品表
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