| 压电式微位移补偿机构 |
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| 引用本文： | 孙宝玉,岳晓峰,王登月.压电式微位移补偿机构[J].吉林工学院学报,2004,25(1):38-40. |
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| 作者姓名： | 孙宝玉 岳晓峰 王登月 |
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| 作者单位： | [1]长春工业大学机电工程学院，吉林长春130012 [2]长春市新星锅炉厂，吉林长春130021 |
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| 摘 要： | 设计了一种压电式微位移补偿机构．采用压电陶瓷作为微位移驱动器，柔性铰链为导向机构，对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿，实现了工作台二次精密定位．提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器．可使工作台定位精度达0．01μm．满足许多精密、超精密加工场合需要。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷微位移器件 柔性铰链 精密定位 |
| 文章编号： | 1006-2939(2004)01-0038-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月23日 |
Research of a Micro-Displacement Compensation Mechanism Based on Piezoelectric Actuator |
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| SUN Bao-yu.Research of a Micro-Displacement Compensation Mechanism Based on Piezoelectric Actuator[J].Journal of Jilin Institute of Technology,2004,25(1):38-40. |
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| Authors: | SUN Bao-yu |
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| Institution: | SUN Bao-yu~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric actuator flexible joint precise position |
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