二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究 |
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引用本文: | 温尚明,袁大发,唐勇,孙秋燕,白德开. 二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究[J]. 世界科技研究与发展, 2000, 22(1): 52-56 |
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作者姓名: | 温尚明 袁大发 唐勇 孙秋燕 白德开 |
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作者单位: | 中国科学院光电技术研究所,成都,610209 |
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基金项目: | 中国科学院情报基金课题研究成果. |
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摘 要: | 微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况,提出发展我国微电子光刻技术的建议。
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关 键 词: | 微电子 光刻技术 集成电路 光刻设备 |
Strategic Study on the Development of Microelectronic Microfabrication Equipment and Technologies in 21st Century |
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Keywords: | |
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