| 利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg_(0.25)Zn_(0.75)O薄膜及日盲探测器 |
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| 引用本文： | 王立昆,单崇新,申德振,张振中. 利用MOCVD在Si衬底上制备立方相Mg_(0.25)Zn_(0.75)O薄膜及日盲探测器[J]. 河北科技师范学院学报, 2014, 28(4) |
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| 作者姓名： | 王立昆 单崇新 申德振 张振中 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033;河北科技师范学院
2. 中国科学院长春光机所凝聚态物理实验室,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 这项工作是在973项目Nos.2008CB317105和2006CB604906;以及中国科学院自然科学知识创新基金项目No.KJCX3.SYW.W01的支撑下完成的,另外;感谢河北科技师范学院分析测试中心的技术支持 |
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| 摘 要： | 采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在Si衬底上实现了立方结构的Mg0.25Zn0.75O薄膜生长。在此基础上,实现了Mg0.25Zn0.75O/n-Si异质结型日盲紫外探测器。该探测器在-5 V偏压下,器件暗电流为0.02 m A。在0 V偏压下的峰值响应位于大约280 nm处,响应度为1.2 m A/W。
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| 关 键 词： | 立方相Mg.Zn.O 日盲探测器 金属有机气相沉积 |
Cubic Phased Mg0.25Zn0.75O Films Grown on Si by MOCVD and Solar Blind Photodetectors |
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| WANG Li-kun,SHAN Chong-xin,SHEN De-zhen,ZHANG Zhen-zhong. Cubic Phased Mg0.25Zn0.75O Films Grown on Si by MOCVD and Solar Blind Photodetectors[J]. Journal of Hebei Normal University of Science & Technology, 2014, 28(4) |
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| Authors: | WANG Li-kun SHAN Chong-xin SHEN De-zhen ZHANG Zhen-zhong |
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