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| 激光化学沉积 | |
| 作者姓名： | 顾原岗 沈光平 邱明新 |
| 作者单位： | 上海激光技术研究所(顾原岗，沈光平)，上海激光技术研究所(邱明新) |
| 摘 要： | 引言激光化学沉积是激光化学用于固体电子学研究的一种方法,将一定波长和功率的激光束聚焦在基片上,基片置于金属有机化合物或其他一些有机和无机化合物的气体中,使该气体分解出原子沉积在基片上,此法可用于半导体的局部掺杂、欧姆接触和光刻 |
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