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杂志ISSN号
蓬勃发展的微纳米加工前沿技术——激光微纳制备
作者姓名:
冯晶
孙洪波
作者单位:
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室
摘 要:
正微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能结构的微纳米化不仅意味着能源与原材料的节省,而且带来多功能的高度集成和生产成本的大大降低.实现材料微纳结构化的基础是先进的微纳米加工技术,从晶体管到集成电路,从微电子到微机械与微流体,从微米技术到纳米技术,微纳米加工技术获得
关 键 词:
微纳米
微米技术
前沿技术
纳米技术
加工技术
材料性能
微流体
微机械
功能材料
尺度结构
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