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| 蓬勃发展的微纳米加工前沿技术——激光微纳制备 | |
| 引用本文： | 冯晶,孙洪波.蓬勃发展的微纳米加工前沿技术——激光微纳制备[J].科学通报,2016(6):566. |
| 作者姓名： | 冯晶 孙洪波 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 正微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能结构的微纳米化不仅意味着能源与原材料的节省,而且带来多功能的高度集成和生产成本的大大降低.实现材料微纳结构化的基础是先进的微纳米加工技术,从晶体管到集成电路,从微电子到微机械与微流体,从微米技术到纳米技术,微纳米加工技术获得 |
| 关 键 词： | 微纳米 微米技术 前沿技术 纳米技术 加工技术 材料性能 微流体 微机械 功能材料 尺度结构 |
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