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杂志ISSN号
热处理对SnO_2薄膜光学特性的影响
作者姓名:
李明华
李健
蒙禾
作者单位:
内蒙古大学新能源研究中心
摘 要:
用真空蒸发方法在玻璃衬底上沉积SnO2薄膜.在氮气、氧气气氛下对薄膜进行不同温度条件的热处理.实验表明,热处理后薄膜的结构和光学性能均有了很大的改善.
关 键 词:
真空物理气相沉积,SnO_2薄膜,热处理,光学特性
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