|
|||||
|
|
| X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特征 | |
| 引用本文： | 汪建华.X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特征[J].华中理工大学学报,1998,26(8):53-55. |
| 作者姓名： | 汪建华 |
| 作者单位： | 武汉工业大学 |
| 摘 要： | 探讨采用真空波导及反常波模式微波输入技术，以避名微波石英窗口的污染，并研究了这种微波耦合模式装置中等离子体的放电特征。 |
| 关 键 词： | ECR 等离子体 溅射 X模式 放电 微波 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |