| 飞秒脉冲激光沉积法的动力学过程实验研究 |
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| 引用本文： | 周幼华,陈娴娟,乔燕,陆培祥,郑启光. 飞秒脉冲激光沉积法的动力学过程实验研究[J]. 江汉大学学报(自然科学版), 2007, 35(4): 33-36 |
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| 作者姓名： | 周幼华 陈娴娟 乔燕 陆培祥 郑启光 |
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| 作者单位： | 江汉大学,物理与信息工程学院,武汉,430056;华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074;华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074;江汉大学,物理与信息工程学院,武汉,430056 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(10604018)，高等学校博士学科点专项科研基金(20060487006) |
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| 摘 要： | 用钛宝石飞秒激光器将最大峰值功率密度为1.14×1013 W/cm2的激光作用在Bi4Ti3O12陶瓷靶、Cu靶、FeSi2合金靶上,研究产生等离子体羽的颜色和形状一般规律:内芯均为白色对应于高温高压等离子体;紧跟内芯的是等离子体的复合形成中性粒子的区域;颜色单一的外层是温度较低的中性粒子和低温等离子体区.飞秒脉冲激光产生的等离子体呈cos4θ的角分布.在准分子脉冲激光沉积下衬底温度为500℃时-FeSi2薄膜的生长模式是Volmer-Weber模式,衬底温度为550℃时β-FeSi2薄膜的生长是Stranski-Krastanov模式.实验发现飞秒激光沉积技术能解决传统PLD法中产生大尺寸微滴的缺陷.
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| 关 键 词： | 飞秒 脉冲激光沉积 薄膜 β-FeSi2 |
| 文章编号： | 1673-0143(2007)04-0033-04 |
| 修稿时间： | 2007-01-16 |
Experiment Investigation of Femtosecond Pulse Laser Deposition |
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| ZHOU You-hua,,CHEN Xian-juan,QIAO Yan,et al.. Experiment Investigation of Femtosecond Pulse Laser Deposition[J]. Journal of Jianghan University(Natural Sciences), 2007, 35(4): 33-36 |
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| Authors: | ZHOU You-hua CHEN Xian-juan QIAO Yan et al. |
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| Affiliation: | ZHOU You-hua1,2,CHEN Xian-juan2,QIAO Yan1,et al. |
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| Abstract: | Bi4Ti3O12 ceramic target,copper target,FeSi2 alloy target were excited by a Ti-Sap-phire femtosecond pulse laser system that provides top laser energy density at 1.14×1013 W/cm2.The core color in plasma plume of the three targets are white,and the shapes of the cores match the curve of cos4.The growth model of-FeSi2/Si by excimer laser deposition at 500℃ is Volmer-Weber,and it is Stranski-Krastanov model at 550℃.In the experiment,it is discovered that the femtosecond pulse laser deposition technology can solve the deficiency of big size droplet in traditional PLD meth-od. |
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| Keywords: | femtosecond laser pulsed laser deposition(PLD) thin film -FeSi2 |
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