| X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特性 |
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| 引用本文： | 汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏.X模耦合微波的ECR溅射装置的放电特性[J].华中科技大学学报(自然科学版),1998(8). |
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| 作者姓名： | 汪建华 袁润章 邬钦崇 任兆杏 |
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| 作者单位： | 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室(汪建华，袁润章)，中国科学院等离子体物理研究所(邬钦崇，任兆杏) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!19175046 |
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| 摘 要： | 探讨采用真空波导及反常波模式（X模）微波输入技术，以避免微波石英窗口的污染，并研究了这种微波耦合模式装置中等离子体的放电特性．
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| 关 键 词： | ECR等离子体 溅射 真空波导 X模式 放电 |
Discharge Characteristics of ECR Sputtering Apparatus Used X Mode Coupling Microwave |
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| Wang Jianhua, Yuan Runzhang, Wu Qinchong, Ren Zhaoxing.Discharge Characteristics of ECR Sputtering Apparatus Used X Mode Coupling Microwave[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1998(8). |
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| Authors: | Wang Jianhua Yuan Runzhang Wu Qinchong Ren Zhaoxing |
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| Institution: | Wang Jianhua; Yuan Runzhang; Wu Qinchong; Ren Zhaoxing |
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| Abstract: | In order to avoid contamination of microwave window, a technique Vacuum waveguide hasbeen inquired by means of the extraordinary wave mode coupling, and the characteristics of the plasmadischarge in this apparatus have been investigated. |
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| Keywords: | ECR plasma sputter Vacuum waveguide extraordinary wave mode discharge |
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