| 沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统 |
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| 引用本文： | 白亦真,吕宪义,金曾孙,王春蕾,邹广田.沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统[J].吉林大学学报(理学版),1995(2). |
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| 作者姓名： | 白亦真 吕宪义 金曾孙 王春蕾 邹广田 |
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| 作者单位： | 吉林大学超硬材料国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究．
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜，微波等离子体，化学气相沉积 |
MWPCVD System for High-quality Diamond Film Deposition |
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| Bai Yizhen,Lu Xianyi,Jin Zengsun,Wang Chunlei,Zou Guangtian.MWPCVD System for High-quality Diamond Film Deposition[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,1995(2). |
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| Authors: | Bai Yizhen Lu Xianyi Jin Zengsun Wang Chunlei Zou Guangtian |
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| Abstract: | The present paper covers a microwave plasma chemical vapour deposition system for the de-position of high-quality diamond films.Its working property is discussed. |
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| Keywords: | diamond film microwave plasma chemical vapour deposition |
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