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| ZnO,SnO2及其复合UPF的工作温度对表面电阻的影响 | |
| 引用本文： | 王巍,王声乐.ZnO,SnO2及其复合UPF的工作温度对表面电阻的影响[J].淮北煤师院学报,1996,17(4):24-26. |
| 作者姓名： | 王巍 王声乐 |
| 摘 要： | 本文介绍了ＺｎＯ，ＳｎＯ２及其复合ＵＰＲ的工作温度对其薄膜表面电阻的影响，并根据表面吸附模型和理论对其结果加以分析。研究的薄膜样品采用直流气体放电活化反应蒸化沉积技术制备。 |
| 关 键 词： | 超微粒子薄膜 工作温度 氧化锌 氧化锡 表面电阻 |
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