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磁片直接键合机理研究
引用本文：童勤义,徐晓莉.磁片直接键合机理研究[J].应用科学学报,1990,8(4):303-308.
作者姓名：童勤义  徐晓莉
摘    要：
关 键 词：硅片  键合机理  SDB  直接键合
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