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钨渗硅层的抗氧化性
作者姓名:陳繼勤  經开良  姚玉琴  王彥令
摘    要:鎢上滲硅层在1500—1700℃范圍內有效地防止鎢的氧化.滲层主要是WSi_2相.高溫氧化时,滲层表面形成玻璃体,WSi_2与W扩散反应形成貧硅的W_3Si_2相.氧化时間增加,W_3Si_2层厚度增加.

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