21世纪的先导技术微电子技术

微电子技术是近半个世纪以来得到迅猛发展的一门高科技应用性学科,是信息产业的先导和基石,被誉为现代电子工业的心脏和高科技的原动力。微电子技术的强大生命力在于它可以低成本、大批量地生产出具有高可靠性和高精度的微电子结构模块。这种技术与其它学科相结合,会诞生出一系列崭新的学科和重大的经济增长点,作为与微电子技术成功结合的典型例子便是MEMS(微机电系统)技术和DNA生物芯片等目前,微电子技术已经成为衡量一个国家科学技术和综合国力的重要标志。微电子技术的发展方向是高集成、高速度、低功耗和智能化。随着集成电路的深亚微米制造技术和设计技术的迅速发展,21世纪的微电子技术将从目前的3G时代逐步发展到3T时代(即存储容量由G位发展到T位、集成电路器件的速度由GHz发展到THz、数据传输速率由Gbps发展到Tbps)