| 利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构 |
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| 引用本文： | 吉贵军 刘安伟. 利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 1998, 31(6): 701-705 |
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| 作者姓名： | 吉贵军 刘安伟 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器及光电子工程学院 |
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| 基金项目： | 天津市21世纪青年科学基金，国家教委博士点基金 |
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| 摘 要： | 在大气环境中用ＳＴＭ进行纳米级超微加工，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜作为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构，还对所形成的结构特征进行了分析，总结出部分规律。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 超微加工 纳米级结构 纳米技术 |
FABRICATING NANOMETER SCALE STRUCTURES WITH A SCANNING TUNNELING MICROSCOPE |
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| Ji Guijun Liu Anwei Qi Xiaoding Hu Xiaotang. FABRICATING NANOMETER SCALE STRUCTURES WITH A SCANNING TUNNELING MICROSCOPE[J]. Journal of Tianjin University(Science and Technology), 1998, 31(6): 701-705 |
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| Authors: | Ji Guijun Liu Anwei Qi Xiaoding Hu Xiaotang |
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| Abstract: | Nanometer scale structures on HOPG and gold film were formed in air using a scanning tunneling microscope by applying voltage pulses between the tip and the sample.Theoretical and experimental studies show that the electrostatic force plays an important part in forming these nanometer scale structures. |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope nanofabrication voltage pulse electrostatic force |
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