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| ZnO薄膜声表面波型SF6气体传感器的研究 | |
| 引用本文： | 朱长纯,陈文会,文常保. ZnO薄膜声表面波型SF6气体传感器的研究[J]. 西安交通大学学报, 2008, 42(4): 445-450 |
| 作者姓名： | 朱长纯 陈文会 文常保 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学电子与信息工程学院,710049,西安 2. 西安交通大学电子与信息工程学院,710049,西安;西北工业大学电子与信息学院,710072,西安 3. 西安交通大学电子与信息工程学院,710049,西安;长安大学电子与控制工程学院,710064,西安 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 高等学校博士学科点专项科研项目 |
| 摘 要： | 提出了一种基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器.将利用微乳液法制备的ZnO颗粒制作在声表面波器件上,形成了一种对SF6气体具有物理吸附和脱吸附作用的ZnO薄膜.应用小波函数加权的输入换能器和具有抑制体声波作用的多条耦合器到声表面波器件中,传感器的频率响应特性得到了提高.声表面波器件的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器具有较好的重复性和较强的连续测量特性,在测量范围内对各种浓度的SF6气体具有好的响应特性,传感器在9(SF6)为0.5×10-6到20×10-6范围内的线性灵敏度大约为7.3 kHz/10-6,但对CO2、N2具有一定的交叉灵敏度. |
| 关 键 词： | ZnO薄膜 声表面波器件 SF6气体 气体传感器 薄膜 声表面波 气体传感器 研究 ZnO Films Based Device Surface Acoustic Wave 交叉灵敏度 线性 测量范围 浓度 响应特性 连续测量 结果 实验 测量误差 测量条件 结构 双声路 |
| 文章编号： | 0253-987X(2008)04-0445-05 |
| 修稿时间： | 2007-09-11 |
SF6 Gas Sensor for Surface Acoustic Wave Device Based on ZnO Films |
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| ZHU Changchun,CHEN Wenhui,WEN Changbao. SF6 Gas Sensor for Surface Acoustic Wave Device Based on ZnO Films[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 2008, 42(4): 445-450 | |
| Authors: | ZHU Changchun CHEN Wenhui WEN Changbao |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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